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    百級無塵烘箱測控系統(tǒng)及安全保護措施

    發(fā)布時間: 2017-06-21  點擊次數(shù): 2477次
       百級無塵烘箱測控系統(tǒng)及安全保護措施
      
      百級無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影
      
      后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非
      
      易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
      
      百級無塵烘箱測控系統(tǒng)及安全保護措施:
      
      1、控制儀表:進口數(shù)顯溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃;
      
      2、溫度測量傳感器:Pt100鉑電阻;
      
      3、控制系統(tǒng):主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件;
      
      4、超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng),保證試驗品的安全;
      
      百級無塵烘箱產(chǎn)品特點
      
      ●結構材料:內(nèi)外全部采用SUS304#不銹鋼板制作無塵無污染,耐酸堿腐蝕環(huán)保,美觀大方
      
      ●保溫材料:使用高密度進口巖棉,雙層保溫層,爐門采用高溫硅膠緊迫,保溫、密封性能好。
      
      ●溫控系統(tǒng):采用RKC智能型溫控器PID自動演算,配合SSR固態(tài)斷電輸出,確保控制溫度。
      
      ●運風方式:左出風,右邊回風循環(huán);特殊風道設計,爐內(nèi)溫差均勻性好。
      
      ●安全裝置:電機過載保護,漏電保護,相序保護,雙重防超溫保護裝置;所有發(fā)熱管與爐體外殼隔絕緣保證設備使用安全。
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